RE 1, 2 y 3 guardan algo de relación. El 4 y 5 ya son bastante distintos.
SH 2 tiene muy poco que ver con el 1 y el 3 (estos dos sí que están relacionados). SH 4 y 5 son cosas distintas también.
En general son todos juegos que se pueden jugar más que perfectamente incluso aunque no hayas jugado a sus predecesores, aunque quizás los tres primeros RE los disfrutes más jugándolos juntos (hace mucho que los jugué, pero creo que en el 2 y en el 3 visitabas algunos sitios comunes).
Ahora bien, y como opinión personal (y nada imparcial como muchos podrán deducir de mi estado en EOL xD), si lo que quieres es pasar miedo, Silent Hill gana por mucho a RE. Sobre todo SH2 es una delicia de juego, tanto para estar "acojonadillo" como para disfrutar de su genial argumento. Además es independiente del resto y se puede disfrutar de principio a fin sin conocimientos previos de la saga. Para mí, Resident Evil fue perdiendo el calificativo de Survival cada vez más con cada entrega. El 1 vale, el 2 bueno, el 3 pase..., pero de ahí en adelante son juegos de acción y punto.
Más survival horrors... pues la verdad es que muchos de ellos no llegan a PC, aunque hay algunos buenos.
Los Alone in the Dark viejos (es decir, el 1, 2 y creo recordar que el 3) son muy buenos survivals: siempre con poca munición, poca vida y enemigos jodidos. Referencias a los mitos de Cthulhu y todo. Eso sí, más viejos que caminar. Los más actuales perdieron su esencia y a mí no me gustaron nada.
Call of Cthulhu: Dark Corners of the Earth está basado en varios relatos de Lovecraft entrelazados de una forma bastante aceptable. El juego es muy survival: el personaje se acojona y ve mal, las armas son escasas, los enemigos son duros... en general muy bueno, aunque tenía algunas partes aburridillas.
Penumbra y Amnesia creo que son del mismo estudio (el segundo es mucho más actual). Al primero apenas he jugado y del segundo sólo probé la demo, pero igual que el DCotE, se trata de juegos muy survival donde tienes que ingeniártelas para sobrevivir sin apenas combatir contra los enemigos (porque los protagonistas no son Duke Nukem, vamos). En el segundo incluso tienes que mantener iluminadas las zonas por las que te mueves para que el personaje no las pase putas.
Del estilo de Resident Evil (sobre todo de los últimos, que son más bien juegos de acción) ya hay más cosas, aunque yo no le llamaría Survival a ese tipo de juegos. A saber, Doom 3, que tiene una ambientación bastante lograda, es bastante oscuro y mete algunos sustos. Pero vamos, es un FPS al uso.
Seguro que me dejo algunos interesantes, pero así a bote pronto es lo que recuerdo. De todas formas, con todos los RE, todos los SH y los que te he puesto tienes para una buena temporada xD.