ese error aparece cuando la iso que has generado con se corresponde con el tamaño del archivo iml.
algun archivo te ha quedado mayor o menor, o no has eliminado todos,
asegurate bien de todos los pasos, pero ese error aparece cuando la informacion del iml no es la misma que la iso generada (aunque te haya hecho la iso).
prueba a hacerlo otra vez paso por paso y asegurate de todo.