La diferencia esta en como se escriben basicamene.... aunque CPU hace referencia directa a la....CPU... procesador o microprocesador, puede combinarse con otra palabra para ser otra cosa... como procesador grafico (GPU)..... u otros.... , osea que dependiendo del tema que se hable podrias ser algo difernete, pero hablando de informaticas y PCs.. pues microsprocesador = Procesador = CPU...
básicamente es diferentes formas de llamarle a un mismo componte, a nivel básico es eso ahora si hablas sobre la historia de la informática la cosa cambia